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半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣來源及治理

時(shí)間：2022-04-09瀏覽量：2026

　　一、半導(dǎo)體制造工藝過程中揮發(fā)的各種有機(jī)廢氣，半導(dǎo)體廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體?！　?、酸堿廢氣...

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